（来源：上观新闻）
“如果衬垫👳🚡采用高模量🚦🗨低热膨胀🔔🇻🇳系数的📨材料，虽然可以补📘🇦🇱偿模量不💾匹配的问题，但由🏵♍于模量过高↔，衬垫无法变🧖♂️形来补偿产生的🔹🔴应力，”穆克吉🏄♀️解释说💅。在晶圆级，几何🐨🦹♂️形状和工艺经验有🏇👯♂️助于控制这种🛵累积☢。
” 设备制造商正🇲🇨在开发✂集群式工具来应🚒🐝对这一挑战，这些⛓🏳️🌈工具能够在🍄机器内部🧙♀️🙉维持局部🤟💓洁净环境，在工具🆎层面上达到接近👨⚖️👴晶圆厂洁净度🈵↗的标准🇰🇪，而无需整个🌨工厂都达到这🇬🇫🥛些标准🍆。
Fel🐩🐽dman说，七🇰🇵🦅年后A🥄🧸MD以50亿美🏠元收购ZT💉 Sy🇸🇷🕔ste🇹🇬ms，才开始走"🎚做整系🦆👨🦲统"这条路，☝◻"我们一🏷开始就知道必须🇼🇸🐒这么做"🦊⌛。
